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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02309635(A) 申请公布日期 1990.12.25
申请号 JP19890130861 申请日期 1989.05.24
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 UNO AKIHITO;OGAWA HISASHI;HASHIMOTO KAZUHIKO
分类号 H01L21/302;H01L21/027;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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