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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02309641(A) 申请公布日期 1990.12.25
申请号 JP19890131813 申请日期 1989.05.24
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ARAI HAJIME
分类号 H01L21/3205 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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