发明名称 |
METHODS OF MAKING THIN FILM PATTERNS |
摘要 |
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申请公布号 |
US3617373(A) |
申请公布日期 |
1971.11.02 |
申请号 |
USD3617373 |
申请日期 |
1968.05.24 |
申请人 |
WESTERN ELECTRIC CO. INC. |
发明人 |
JAMES H. MOTT |
分类号 |
C23C14/04;H01L49/02;H05K3/04;(IPC1-7):B44D1/18;C23C15/00;C23C13/02 |
主分类号 |
C23C14/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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