Process for testing a circuit board with a particle beam.

摘要

Zur Durchführung der Verfahren zur Prüfung der elektrischen Eigenschaften von Leiterplatten mit der Elektronensonde werden üblicherweise modifizierte Rasterelektronenmikroskope eingesetzt. Deren Abtastfeld ist aber infolge des Ablenkfarbfehlers und der mit dem Ablenkwinkel stark anwachsenden Aberrationen der Objektivlinse begrenzt. Um auch größere Leiterplatten ohne aufwendige Verbesserung der Elektronenoptik testen zu können wird vorgeschlagen, die Leiterplatte in mehrere aneinandergrenzende Bereiche zu unterteilen, wobei die Größe der Bereiche jeweils annähernd der Größe des Abtastfeldes entspricht. Jedes der nur innerhalb eines der Bereiche liegenden Netzwerke wird dann in der bekannten Weise getestet. Um Kurzschlüsse zwischen Netzwerken verschiedener Bereich sowie Unterbrechungen zwischen Kontaktpunkten bereichsübergreifender Netzwerke nachzuweisen, schließt sich dem bekannten Prüfverfahren ein weiterer Testzyklus an.