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发明名称
摘要
申请公布号
JPH0260225(B2)
申请公布日期
1990.12.14
申请号
JP19860258147
申请日期
1986.10.31
申请人
FUJITSU LTD
发明人
TAKIGAWA MASAHIKO
分类号
H01L29/812;H01L21/20;H01L21/338;H01L29/267;H01L29/778
主分类号
H01L29/812
代理机构
代理人
主权项
地址
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