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发明名称 GAS INJECTOR APPARATUS FOR CHEMICAL VAPOR DEPOSITION REACTORS
摘要
申请公布号 EP0378543(A4) 申请公布日期 1990.12.12
申请号 EP19880906451 申请日期 1988.06.22
申请人 ASM EPITAXY, INC. 发明人 BARNETT, LEWIS, C.;FERRO, ARMAND, PASQUALE;HAWKINS, MARK, RICHARD
分类号 C23C16/44;C23C16/00;C23C16/455;C30B25/14;(IPC1-7):C23C16/00 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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