| 发明名称 |
ELECTRON BEAM EXCITING ION SOURCE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02297853(A) |
申请公布日期 |
1990.12.10 |
| 申请号 |
JP19890329981 |
申请日期 |
1989.12.20 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD |
发明人 |
MATSUDO MASAHIKO;KOSHIISHI AKIRA;KAWAMURA GOHEI;TAKAYAMA NAOKI |
| 分类号 |
H01J37/08;H01J27/20;H01J37/317 |
主分类号 |
H01J37/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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