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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02297953(A) 申请公布日期 1990.12.10
申请号 JP19890119313 申请日期 1989.05.11
申请人 NEC CORP 发明人 HOSOYA AKIHIRO;FURUICHI MITSUHIRO
分类号 H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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