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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH02296330(A) 申请公布日期 1990.12.06
申请号 JP19890118340 申请日期 1989.05.10
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 MIYANO NAOYA
分类号 H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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