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发明名称 PROCESS FOR FABRICATING SEMICONDUCTOR STRUCTURES
摘要
申请公布号 EP0146613(B1) 申请公布日期 1990.12.05
申请号 EP19840902421 申请日期 1984.06.07
申请人 NCR CORPORATION 发明人 SOBCZAK, ZBIGNIEW, PAUL
分类号 H01L21/76;H01L21/20;H01L21/285;H01L21/306;H01L21/3063;H01L21/308;H01L21/3105;H01L21/311;H01L21/762;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/285 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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