| 摘要 |
On a mis au point un capteur de mesure à semiconducteurs (10) dans lequel l'élément de capteur de pression (14) est protégé du milieu à mesurer par un milieu de transfert de pression (31) et par une fine membrane de couverture (32) combinés. On a mis au point un procédé permettant de former le diaphragme in situ. Le matériau de la membrane est choisi dans un groupe de matériaux comprenant la fluorosilicone, de manière à éviter le piégeage d'air ou la formation de vides dans le milieu de transfert de pression (31), ce qui a pour effet de diminuer l'efficacité du capteur (10). Le milieu de transfert de pression (31) est une matière analogue à un gel tel que la silicone de diméthyle et équivalents. Dans un autre mode de réalisation, le gel peut être de la fluorosilicone et le diaphragme de la silicone de diméthyle. On choisit le matériau de la membrane pour qu'il soit sensiblement imperméable aux éléments ambiants ou aux milieux de traitement mesurés, et aussi souple, lequel est versé et polymérisé en place sur l'ensemble pendant la fabrication. |
