| 发明名称 |
VACUUM EXHAUST DEVICE AND REGENERATION METHOD THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02294575(A) |
申请公布日期 |
1990.12.05 |
| 申请号 |
JP19890115095 |
申请日期 |
1989.05.10 |
| 申请人 |
EBARA CORP |
发明人 |
KURIYAMA FUMIO;MURAI YUKIO;TSUJIMURA MANABU;SOFUGAWA TAKUJI |
| 分类号 |
F04D19/04;A61J3/02;F04B37/16;H01L21/205;H01L21/302;H01L39/24 |
主分类号 |
F04D19/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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