| 发明名称 |
SPUTTERING DEVICE AND CONTROLLING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02290970(A) |
申请公布日期 |
1990.11.30 |
| 申请号 |
JP19890109337 |
申请日期 |
1989.04.28 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
YASUI HIDEAKI;TSUDA YOSHIYUKI;KODERA KOICHI;MUKAI YUJI |
| 分类号 |
B01D67/00;C23C14/34;C23C14/35;C23C14/54;H01L21/203;H01L21/31;H05H1/00 |
主分类号 |
B01D67/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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