发明名称 SCANNING LASER DEVICE FOR MAKING PATTERNS FOR PRINTED CIRCUIT-BOARDS
摘要
申请公布号 SU1610521(A1) 申请公布日期 1990.11.30
申请号 SU19894680456 申请日期 1989.04.18
申请人 NECHAEV YURIJ S,SU;BUFAN ALEKSANDR M,SU;VINOGRADOV NIKOLAJ F,SU;IVANOV ANATOLIJ A,SU;IVANOV ANATOLIJ A,SU;MOROZOV ALEKSANDR F,SU;NOVIKOV VIKTOR M,SU;YAKOVLEVA TAMARA G,SU 发明人 NECHAEV YURIJ S,SU;BUFAN ALEKSANDR M,SU;VINOGRADOV NIKOLAJ F,SU;IVANOV ANATOLIJ A,SU;IVANOV ANATOLIJ A,SU;MOROZOV ALEKSANDR F,SU;NOVIKOV VIKTOR M,SU;YAKOVLEVA TAMARA G,SU
分类号 H01L21/268;G03F7/20;H01L21/30 主分类号 H01L21/268
代理机构 代理人
主权项
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