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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR VAPOR-PHASE GROWTH OF AN OXIDE THIN FILM
摘要
申请公布号 EP0387456(A3) 申请公布日期 1990.11.28
申请号 EP19890313578 申请日期 1989.12.22
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 EGUCHI, KAZUHIRO C/O INTELLECTUAL PROPERTY DIV.;NAKANISI, TAKATOSI C/O INTELLECTUAL PROPERTY DIV.;SATOH, RIE C/O INTELLECTUAL PROPERTY DIVISION
分类号 C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455;H01L39/24;(IPC1-7):C23C16/40 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
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