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发明名称 DEFECT INSPECTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02287141(A) 申请公布日期 1990.11.27
申请号 JP19890107565 申请日期 1989.04.28
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 OHASHI KATSUKI
分类号 G01B11/30;G01N21/88;G01N21/94;G01N21/95;G11B7/26 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
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