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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02284463(A)
申请公布日期
1990.11.21
申请号
JP19890104411
申请日期
1989.04.26
申请人
HITACHI LTD
发明人
KOMORI KAZUHIRO;NISHIMOTO TOSHIAKI;MEGURO SATOSHI;SUZUKI NORIO
分类号
H01L27/092;H01L21/8238
主分类号
H01L27/092
代理机构
代理人
主权项
地址
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