发明名称
摘要
申请公布号 JPH02138420(U) 申请公布日期 1990.11.19
申请号 JP19890047581U 申请日期 1989.04.21
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
地址