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发明名称 MANUFACTURE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH02278726(A) 申请公布日期 1990.11.15
申请号 JP19890100431 申请日期 1989.04.19
申请人 NEC CORP 发明人 KUSAKABE ATSUHIKO
分类号 H01L31/10;H01L21/28 主分类号 H01L31/10
代理机构 代理人
主权项
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