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发明名称 CLEANING AND DRYING APPARATUS OF SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH02278823(A) 申请公布日期 1990.11.15
申请号 JP19890100566 申请日期 1989.04.20
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 SUZUKI HITOSHI;KATO ZENJI
分类号 B08B3/04;H01L21/304 主分类号 B08B3/04
代理机构 代理人
主权项
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