发明名称 SPUTTERING METHOD
摘要
申请公布号 JPH02277768(A) 申请公布日期 1990.11.14
申请号 JP19890098712 申请日期 1989.04.20
申请人 FUJI PHOTO FILM CO LTD 发明人 NAKADA JUNJI
分类号 C23C14/34;G11B11/10;G11B11/105 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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