发明名称 FORMATION OF GATE ELECTRODE
摘要
申请公布号 JPH02276244(A) 申请公布日期 1990.11.13
申请号 JP19890098063 申请日期 1989.04.18
申请人 NEC CORP 发明人 HONMA ICHIRO
分类号 H01L21/302;H01L21/28;H01L21/3065;H01L29/78 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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