发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH02270335(A) 申请公布日期 1990.11.05
申请号 JP19890090621 申请日期 1989.04.12
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 FUKUDA ETSUO
分类号 H01L29/78;H01L21/322;H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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