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发明名称 MANUFACTURE OF GAAS FIELD-EFFECT TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH02270336(A) 申请公布日期 1990.11.05
申请号 JP19890091349 申请日期 1989.04.11
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YOKOYAMA TAKAHIRO
分类号 H01L29/812;H01L21/338 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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