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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND SILICA COATING AGENT USED THEREFOR
摘要
申请公布号
JPH02268421(A)
申请公布日期
1990.11.02
申请号
JP19890089837
申请日期
1989.04.11
申请人
MATSUSHITA ELECTRON CORP
发明人
YOSHIKAWA HIDEKAZU
分类号
H01L21/225
主分类号
H01L21/225
代理机构
代理人
主权项
地址
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