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发明名称
FINE PARTICLE DETECTOR
摘要
申请公布号
JPH02267848(A)
申请公布日期
1990.11.01
申请号
JP19890089441
申请日期
1989.04.07
申请人
FUJITSU LTD
发明人
SAWADA SHIGETOMO;KOBAYASHI KAZUO;UEHARA YUJI;SATO FUMIHIKO
分类号
H01J47/18
主分类号
H01J47/18
代理机构
代理人
主权项
地址
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