| 发明名称 |
Method of producing a gate |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2230899(A) |
申请公布日期 |
1990.10.31 |
| 申请号 |
GB19900007215 |
申请日期 |
1990.03.30 |
| 申请人 |
* MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
YASUTAKA * KOHNO;TOMOKI * OKU |
| 分类号 |
H01L29/812;H01L21/033;H01L21/285;H01L21/338;H01L29/08;H01L29/417;H01L29/423 |
主分类号 |
H01L29/812 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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