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发明名称 HANDOTAISOCHINOSEIHO
摘要
申请公布号 JPH0249011(B2) 申请公布日期 1990.10.26
申请号 JP19800071015 申请日期 1980.05.28
申请人 SONY CORP 发明人 MYAKE GORO;SHIMADA TAKASHI
分类号 H01L21/768;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/3213 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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