Apparatus containing an effusion cell crucible for molecular beam epitaxy equipment.

摘要

Vorrichtung mit einem Tiegel in einer Effusionszelle einer Molekularsrahlepitaxieanlage, bei der der Molekularstrahl durch die Formgebung des Tiegels (5) und der Tiegelhalterung (1), insbesondere durch den Querschnitt und den Öffnungswinkel des Tiegels (5) und durch die Ausrichtung der Mittelachse (3) des Tiegels (5) relativ zur Mittelachse (2) der Zelle (6), auf ein relativ zur Strahlrichtung gekippt angeordnetes kreisfbrmiges Substrat (4) optimiert ist.