1∶1折反射式光学系统

摘要

1∶1折反射式光学系统，它主要用于精细图形的照相复制。包括一个由棱镜和透镜组成的折射镜组，一个球面反射镜，其特征是在折射镜组与反射镜之阀还有一块校正板。它具有数值孔径大，分辨率高的特点。在波长短于365nm的光谱区，采用现有材料可以获得很好的象质和较大的视场。

主权项

1.用于精细和超精细图形照相复制或光刻的1∶1折反射式光学系统，包括一个球而反射镜7，由棱镜3、8、透镜4、5组成的折射镜组，其特征在于所说的球而反射镜和折射镜组之间还有校正板6。