| 发明名称 |
SOHOGATAHANDOTAISOCHINOSEIZOHOHO |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0248146(B2) |
申请公布日期 |
1990.10.24 |
| 申请号 |
JP19850164612 |
申请日期 |
1985.07.25 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
SATO MASAKI;SHINADA KAZUYOSHI |
| 分类号 |
H01L27/08;H01L21/8238;H01L21/8247;H01L27/092;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792 |
主分类号 |
H01L27/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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