| 发明名称 |
DATA LOADING AND DISTRIBUTING PROCESS AND APPARATUS FOR CONTROL OF A PATTERNING PROCESS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0389109(A3) |
申请公布日期 |
1990.10.24 |
| 申请号 |
EP19900301923 |
申请日期 |
1990.02.22 |
| 申请人 |
MILLIKEN RESEARCH CORPORATION |
发明人 |
JOHNSON, HAROLD LEE |
| 分类号 |
D06B1/02;D06B1/08;D06B11/00;(IPC1-7):D06B11/00 |
主分类号 |
D06B1/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
