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发明名称 VAPOR DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02259072(A) 申请公布日期 1990.10.19
申请号 JP19890083004 申请日期 1989.03.31
申请人 NIPPON DEMPA KOGYO CO LTD 发明人 HARUHARA HIROTSUGU;NAKAYAMA MORIKATSU;YOSHIDA HARUHIKO
分类号 C23C14/54 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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