| 发明名称 |
TEMPERATURE MEASURING METHOD FOR SEMICONDUCTOR WAFER AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02256254(A) |
申请公布日期 |
1990.10.17 |
| 申请号 |
JP19890181874 |
申请日期 |
1989.07.14 |
| 申请人 |
MINOLTA CAMERA CO LTD;TOKYO ELECTRON LTD |
发明人 |
ARIMA JIRO;TSUJIMURA YUJI;NARITA NORIYOSHI;TAKEBUCHI HIROKI |
| 分类号 |
G01J5/00;G01J5/52;G01J5/60;G01J5/62;H01L21/66 |
主分类号 |
G01J5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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