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经营范围
发明名称
WAFER CONVEYOR
摘要
申请公布号
JPH02255429(A)
申请公布日期
1990.10.16
申请号
JP19890075388
申请日期
1989.03.27
申请人
NEC KYUSHU LTD
发明人
YANABE YUKIHIRO
分类号
B65H1/28;B65G1/00;B65G1/07;B65G49/07
主分类号
B65H1/28
代理机构
代理人
主权项
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