| 发明名称 |
ELECTRON BEAM IRRADIATING ION BEAM DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02256146(A) |
申请公布日期 |
1990.10.16 |
| 申请号 |
JP19890077191 |
申请日期 |
1989.03.28 |
| 申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
KAWASE YUTAKA;ISHIDA HISANORI;NAKAMURA TSUYOSHI |
| 分类号 |
H01J37/04;H01J27/20;H01J37/08;H01J37/244 |
主分类号 |
H01J37/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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