| 发明名称 |
GAS ION SOURCE AND ION BEAM MACHINING DEVICE USING IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02253548(A) |
申请公布日期 |
1990.10.12 |
| 申请号 |
JP19890075798 |
申请日期 |
1989.03.28 |
| 申请人 |
NIPPON SEIKO KK |
发明人 |
MATSUZAKA MASAAKI;ANDO MASAAKI |
| 分类号 |
H01J27/08;H01J37/08;H01J37/317 |
主分类号 |
H01J27/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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