发明名称 THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02254158(A) 申请公布日期 1990.10.12
申请号 JP19890076323 申请日期 1989.03.28
申请人 ANELVA CORP 发明人 ASAMAKI TATSUO;HOSOKAWA NAOKICHI;KIN CHIKATANE;HIRATA KAZUO;ISHIBASHI KEIJI
分类号 C23C14/22;C23C14/24 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
主权项
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