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发明名称 DIFFRACTION DEVICE FOR MEASURING WIDTH OF ELEMENTS OF TOPOLOGIC PATTERN
摘要
申请公布号 SU1597543(A1) 申请公布日期 1990.10.07
申请号 SU19884457753 申请日期 1988.07.11
申请人 LE ELEKTROTEKHNICHESKIJ I IM.V.I.ULYANOVA (LENINA) 发明人 ZHUKOVSKIJ EMANUIL E,SU;KOLGIN EVGENIJ A,SU;KOTLETSOV BORIS N,SU;SMIRNOV EVGENIJ A,SU;SHALASHEV OLEG M,SU
分类号 G01B21/02 主分类号 G01B21/02
代理机构 代理人
主权项
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