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<p>Diese in einem einzigen Hochtemperaturschritt herstellbare, damit billige, mechanisch stark belastbare und hochvakuumdichte Durchführung durch eine Bohrung (2) eines hochtemperaturbeständigen und vakuumtauglichen Isolierstoffteils (1), insbesondere aus Keramik, aus Glas oder aus einem Einkristall, ist als ein mit Aktivlot umhüllter und in die Bohrung eingelöteter Anschlussleiter (4) ausgebildet, dessen thermischer Ausdehnungskoeffizient kleiner als der des Isolierstoffteils (1) ist. Die Durchführung wird bevorzugt bei einem kapazitiven Drucksensor (10) mit einer Membran (11) und einem Grundkörper (12), die gegenseitig beabstandete, ebene, zur Bildung mindestens eines Kondensators mit mindestens einer Leitschicht (14, 15) versehene Innenflächen aufweisen, die mittels der Durchführung zur jeweiligen Rückseite hin kontaktiert sind, verwendet.</p> |
