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发明名称 FORMATION OF SOI FILM
摘要
申请公布号 JPH02246210(A) 申请公布日期 1990.10.02
申请号 JP19890067962 申请日期 1989.03.20
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 YONEDA KIYOSHI
分类号 H01L21/20;H01L21/02;H01L21/324;H01L21/84;H01L27/12 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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