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发明名称 SEMICONDUCTOR CRYSTAL GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02246109(A) 申请公布日期 1990.10.01
申请号 JP19890066915 申请日期 1989.03.17
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 GOTODA MITSUNOBU;MARUNO SHIGEMITSU;MORISHITA YOSHITAKA;IMAIZUMI MASAYUKI;NOMURA YOSHITOKU;OGATA HITOSHI
分类号 H01L21/205;H01L21/203 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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