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经营范围
发明名称
DRYETCHING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02246113(A)
申请公布日期
1990.10.01
申请号
JP19890067013
申请日期
1989.03.17
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
NISHIMURA HIROSHI;YANO KOSAKU
分类号
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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