发明名称 REPARATUR VON MASKEN.
摘要
申请公布号 DE3579236(D1) 申请公布日期 1990.09.20
申请号 DE19853579236 申请日期 1985.06.21
申请人 SEIKO INSTRUMENTS INC., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 SATO, MITSUYOSHI;KAITO, TAKASHI;NAKAGAWA, YOSHITOMO, 31-1, KAMEIDO 6-CHOME KOTO-KU TOKYO 136, JP
分类号 C23C16/04;G03F1/00;(IPC1-7):G03F1/00;H01L21/30;C23C14/22 主分类号 C23C16/04
代理机构 代理人
主权项
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