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发明名称 METHOD OF FLATTENING SILICON
摘要
申请公布号 JPH02234439(A) 申请公布日期 1990.09.17
申请号 JP19890055349 申请日期 1989.03.07
申请人 NEC CORP 发明人 HONMA ICHIRO
分类号 H01L29/78;H01L21/20;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/336;H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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