发明名称 GROWTH OF SINGLE CRYSTAL AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH02233583(A) 申请公布日期 1990.09.17
申请号 JP19890055874 申请日期 1989.03.08
申请人 KYUSHU ELECTRON METAL CO LTD;OSAKA TITANIUM CO LTD 发明人 KITAGAWA KUNIHIKO;AOKI TOSHIHIKO;YAMASHITA KENICHI;SHIRAIWA TOSHIO
分类号 C30B15/20;C30B29/06;H01L21/208 主分类号 C30B15/20
代理机构 代理人
主权项
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