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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR UNTERSUCHUNG VON OBERFLAECHEN.
摘要
申请公布号 DE3673226(D1) 申请公布日期 1990.09.13
申请号 DE19863673226 申请日期 1986.04.01
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 YAMAZAKI, YUICHIRO TOSHIBA SHINKOYASU RYO, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP;MIYOSHI, SHONAN HEIM, MOTOSUKE FE 107, FUJISAWA-SHI KANAGAWA-KEN, JP;OGAWA, KASHIMA SO, SHIGERU 204;OKUMURA, RUPINASU, KATSUYA 609, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP
分类号 G01N21/47;G01N21/94;(IPC1-7):G01N21/55 主分类号 G01N21/47
代理机构 代理人
主权项
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