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发明名称
摘要
申请公布号
JP2832241(B2)
申请公布日期
1998.12.09
申请号
JP19890263646
申请日期
1989.10.09
申请人
JAPAN ENAJII KK
发明人
TAKAGI AKIO;SAKAI HIDEKI;ASAHI TOSHIAKI;MARUYAMA NOBUTOSHI
分类号
C30B11/00;C30B29/48;C30B33/02;H01L21/208;(IPC1-7):C30B29/48
主分类号
C30B11/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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