发明名称 Process for fabricating an integrated circuit
摘要
申请公布号 US4956305(A) 申请公布日期 1990.09.11
申请号 US19890337945 申请日期 1989.04.14
申请人 TELEFUNKEN ELECTRONIC GMBH 发明人 ARNDT, JUERGEN
分类号 H01L29/73;H01L21/265;H01L21/331;H01L21/74;H01L21/8224;H01L21/8249;H01L27/082;H01L29/06;H01L29/08;H01L29/10;H01L29/40;H01L29/732;H01L29/735 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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