发明名称 |
Process for fabricating an integrated circuit |
摘要 |
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申请公布号 |
US4956305(A) |
申请公布日期 |
1990.09.11 |
申请号 |
US19890337945 |
申请日期 |
1989.04.14 |
申请人 |
TELEFUNKEN ELECTRONIC GMBH |
发明人 |
ARNDT, JUERGEN |
分类号 |
H01L29/73;H01L21/265;H01L21/331;H01L21/74;H01L21/8224;H01L21/8249;H01L27/082;H01L29/06;H01L29/08;H01L29/10;H01L29/40;H01L29/732;H01L29/735 |
主分类号 |
H01L29/73 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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