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发明名称 APPARATUS FOR IONIC COATING OR IMPLANTATION WITH A SYSTEM FOR CAUSING IONIC OR ARC-INDUCED EVAPORATION CONSTITUTING A IONIC OR ARC-INDUCED EVAPORATION CATHODE
摘要
申请公布号 PL329905(A1) 申请公布日期 1999.06.07
申请号 PL19980329905 申请日期 1998.11.26
申请人 VAPOR TECHNOLOGIES,INC. 发明人 WELTY RICHARD P.
分类号 C23C14/24;C23C14/32;C23C14/34;C23C14/35;H01J23/04;H01J25/50;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/56 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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